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请公司介绍一下SACVD （臭氧 - TEOS）工艺的技术原理及应用场景？目前高端 3D 堆叠、高深宽比 TSV 几乎主流都用SACVD 臭氧 - TEOS工艺吗？
您好！亚常压化学气相沉积（SACVD）是一种在亚大气压环境下通过热化学反应进行薄膜沉积的工艺设备，应用于多种领域的介质薄膜沉积。感谢关注！
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