矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

关于变更持续督导保荐代表人的公告

本公司及董事会全体成员保证信息披露内容的真实、准确和完整，没有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“公司”）于近日收到招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）出具的《关于更换保荐代表人的函》。现将具体情况公告如下：

招商证券作为公司首次公开发行股票并在创业板上市项目（以下简称“本项目”）的保荐机构，原指定保荐代表人为包晓磊先生、胡洋洋先生，负责持续督导工作，持续督导期截至2028 年12 月31 日。

近日，保荐代表人包晓磊先生因工作变动原因，不再担任本项目持续督导保荐代表人，为保证持续督导工作的正常进行，招商证券委派杨琪琛先生（简历见附件）为本项目持续督导保荐代表人，继续履行相关职责。

本次变更不影响招商证券对公司的持续督导工作。本次保荐代表人变更后，公司本项目持续督导的保荐代表人为胡洋洋先生、杨琪琛先生，持续督导期至中国证券监督管理委员会规定的持续督导义务结束为止。

公司董事会对包晓磊先生在公司首次公开发行股票并在创业板上市及持续督导期间所做的工作表示衷心的感谢！

特此公告。

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司董事会

2026 年 9 月 25 日

附件：

杨琪琛先生简历

杨琪琛，投资银行委员会副董事，保荐代表人。自从事投资银行业务以来，曾负责或参与中国移动A股IPO 项目、国合通测IPO 项目、重庆银行IPO 项目、苏州银行 IPO 项目、郑州银行 IPO 项目及多家拟上市公司辅导上市、债券及私募融资项目。