华海清科首席科学家路新春荣获ICPT 2026杰出成就奖

　　2026年10月19?22日，国际平坦化技术大会（International Conference On Planarization/CMP Technology, ICPT 2026）在韩国首尔召开。华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）首席科学家路新春获颁ICPT杰出成就奖（Outstanding Achievement Award），以表彰他在全球化学机械平坦化（CMP）领域取得的开创性研究成果与突出产业化贡献。

ICPT杰出成就奖

　　ICPT杰出成就奖是CMP领域的国际顶级荣誉，旨在表彰在基础理论、核心技术与产业应用方面取得里程碑式成果的杰出学者。路新春始终面向国家重大战略需求，深耕晶圆超精密平坦化与纳米摩擦学研究，带领团队攻克多项“卡脖子”技术难题，成功研制我国首台12英寸商用CMP装备并实现规模化量产，打破国外长期技术垄断，为我国集成电路装备自主可控提供坚实支撑，充分展现了我国在先进芯片平坦化工艺与高端装备领域日益提升的国际影响力。

　　路新春表示，这份国际荣誉是团队协同攻关、集体奋斗的成果，也是我国集成电路产业蓬勃发展、产学研深度融合的时代馈赠。荣誉是肯定，更是鞭策。面向未来，团队将持续紧扣国家重大技术需求，围绕集成电路制造发展目标，进一步深化CMP基础理论与关键核心技术攻关，加速推进科技成果转化，积极拓展国际学术交流合作，助力全球平坦化技术与集成电路产业创新发展。

转载 | 高端装备界面科技全国重点实验室

华海清科

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