物理结构分析_胜科纳米（苏州）股份有限公司

物理结构分析 - 分类：解决方案 - 发布时间：2022-05-18 17:58:56 - 访问量：0 概要: 概要: 详情 半导体芯片虽然个头很小，但是内部结构非常复杂，尤其是其最核心的微型单元成千上万个晶体管。 | Analysis Technique 分析方法 | Lateral Resolution 平面分辨率 | | STEM 扫描透射电镜 | 0.19nm | | TEM 透射电镜 | 0.24nm | | SEM SE 扫描电镜 二次电子 | 0.6nm | | TEM-EDX 透镜能谱 | 1nm | | SEM BSE 扫描电镜 背散射 | 1.8nm | | FIB 聚焦离子束 | 4nm | | Auger 俄歇电子 | 8nm | | 激光显微 | >250nm | | Optical Microscopy 光学显微 | >300nm | | SEM-EDX 扫描电镜 能谱 | >300nm | | 3D Nano-CT 高分辨断层扫描 | 0.9um | | X-Ray X射线成像 | 1um | | Stereo Microscopy 体式显微 | >1um | 扫二维码用手机看 © 2022 胜科纳米（苏州）股份有限公司. 苏ICP备18002875号