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氦气被美国列为关键材料!半导体为何离不开它?
深科技 deeptek|全球半导体产业观察
谁能想到,一种看似普通的气体,竟然关系到全球芯片制造的稳定运行。
10月23日,美国能源部宣布,根据《2020年能源法》,正式将氦气(Helium)认定为关键材料,使其成为该机构指定的第20种关键材料。
美国能源部长克里斯·赖特明确表示,氦气对于半导体和先进技术制造至关重要。此次认定旨在加强美国制造业和关键供应链安全。
值得关注的是,受地缘政治和供应紧张影响,全球氦气现货价格据报道一度上涨至此前的约3倍。
氦气究竟有多重要?为什么连先进晶圆厂都离不开它?
一、美国为什么突然将氦气列为关键材料?
答案很简单:供应链风险正在上升。
氦气不仅用于半导体制造,还广泛应用于医疗设备、量子计算、超导磁体及航空航天等领域。
美国能源部认为,氦气在先进制造中具有不可替代的重要作用,同时面临资源、提纯能力和国际供应链风险。
此次认定后,符合条件的氦气项目有望获得美国政府融资、技术支持及产业合作机会。
这意味着,氦气已经成为美国重点关注的战略性工业材料之一。
二、芯片制造为什么离不开氦气?
这是此次新闻最值得关注的地方。
氦气虽然不直接构成芯片的主要材料,却在晶圆制造的多个关键环节发挥作用。
主要集中在四个方面:
1、刻蚀:给晶圆降温。 在等离子体刻蚀设备中,氦气常用于晶圆背面冷却,帮助控制晶圆温度,提高刻蚀均匀性和工艺稳定性。
2、薄膜沉积:稳定制造工艺。 在部分CVD、PECVD设备中,氦气可用于辅助温度控制或作为工艺气体,改善薄膜沉积的一致性。
3、设备检漏:保障真空环境。 半导体制造需要高洁净度和高真空环境,氦质谱检漏技术能够发现设备和管路中的微小泄漏。
4、特殊工艺:提供惰性环境。 在部分等离子体处理及特殊制造环节,氦气可作为辅助气体使用。
尤其在先进刻蚀工艺中,晶圆温度控制直接关系到工艺稳定性和良率。
需要强调的是,并非所有半导体工艺都必须使用氦气,但在部分关键设备和工艺环节,其替代难度较高。
三、如果氦气断供,晶圆厂会停产吗?
答案是:存在风险,但不意味着一定停产。
对于依赖背面氦气冷却的刻蚀设备,供应中断可能影响设备运行、工艺稳定性及产能安排。
部分薄膜沉积设备、真空检漏系统同样需要稳定的氦气供应。
不过,大型晶圆厂通常通过长期采购合同、库存储备、多供应商体系及气体回收技术降低供应风险。
真正需要警惕的,是氦气供应持续紧张导致制造成本上升,以及局部供应中断对产线运行的影响。
四、全球氦气为什么突然紧张?
氦气供应高度依赖少数国家和地区。
美国、卡塔尔和俄罗斯是全球氦气产业的重要参与者。
据报道,2025年美国氦气产量预计约8100万立方米,占全球产量约43%。
但近年来,半导体、医疗和先进制造领域的需求增长,加上中东地缘政治风险及部分国家出口限制,正在加大全球氦气供应压力。
财联社10月24日报道援引业内人士消息称,受相关冲突影响,氦气现货价格已上涨至此前的约3倍。
这也说明,即使拥有丰富的天然气资源,如果缺乏足够的提纯能力和稳定的运输体系,仍然可能出现氦气供应瓶颈。
五、中国半导体产业该如何应对?
氦气被美国列为关键材料,对中国半导体产业同样具有启示意义。
随着国内晶圆制造、功率半导体、先进封装及半导体设备产业发展,高纯工艺气体的稳定供应越来越重要。
未来需要重点关注三个方向:
第一,提高高纯氦气供应能力。 加强氦气资源回收、提纯技术及供应链建设。
第二,推动氦气循环利用。 通过气体回收和工艺优化,降低晶圆厂对新增氦气供应的依赖。
第三,强化供应链安全。 建立多元化采购体系,提升关键工业气体的稳定保障能力。
对于中国半导体产业而言,保障氦气供应不仅是成本问题,更关系到部分关键制造设备能否持续稳定运行。
芯榜观察:过去,全球半导体竞争主要围绕光刻机、先进制程、GPU、HBM及先进封装展开。
如今,美国将氦气列为关键材料,再次提醒产业界:芯片制造的竞争,不只在设备和技术,也在那些容易被忽视的基础材料。
一座投资数百亿元的晶圆厂,离不开高端设备,也离不开高纯气体、电子化学品和稳定的供应链。
氦气只是其中一个缩影。
未来半导体产业的竞争,不仅是谁能造出更先进的芯片,更是谁能保障整条制造链持续运转。
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