证券代码：688012

证券简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司2026 年第三季度报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。

第三季度财务报表是否经审计

□是 √否

 公司 2026 年前三季度（1-9 月）营业收入为 103.26 亿元，同比增长约 28.08%。

 2026 年前三季度（1-9 月）归属于上市公司股东的净利润为 41.34 亿元，较去年同期增长约241.31%。

 根据市场需求，公司显著加大研发力度。2026 年前三季度公司研发支出 32.22 亿元，较去年同期增长约 27.70%，研发支出占公司营业收入比例约为 31.20%，公司目前同时推进六大类、超 20 款新设备的研发。

 公司已开发出 54 种高端半导体设备，包括 26 种高能和低能等离子体刻蚀机设备、24 种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和部分量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。截至 2026 年 9 月底，公司累计已有超过 9300 个反应台在国内外生产线实现量产。

一、主要财务数据

（一） 主要会计数据和财务指标

单位：元 币种：人民币

注：“本报告期”指本季度初至本季度末 3 个月期间，下同。

公司 2026 年前三季度（1-9 月）营业收入为 103.26 亿元，同比增长约 28.08%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

2026 年前三季度（1-9 月）归属于上市公司股东的净利润为 41.34 亿元，较上年同期增长约 29.2亿元，同比增长约 241.31%，主要原因为：（1）2026 年前三季度营业收入增长 28.08%下，毛利较上年同期增长约 10.21 亿元；（2）2026 年前三季度公司研发支出较上年同期增长 6.99 亿元（增长约27.70%），研发支出占公司营业收入比例约为 31.20%，远高于科创板均值。公司目前同时推进六大类、超 20 款新设备的研发，新产品研发周期显著加快，只需两年或更短就可开发一款新产品；（3）公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于 2026 年前三季度产生公允价值变动收益和投资收益合计约 19.40 亿元，较上年同期的 3.49 亿元增加约 15.91 亿元。（4）公司本期出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生投资收益约 9.53 亿元。

2026 年前三季度（1-9 月）归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约 16.23 亿元，较上年同期增加 7.36 亿元（增长约 83.01%），主要由于营业收入增长下毛利增加 10.21 亿元，以及研发费用较上年同期增加 2.35 亿元。

（二） 非经常性损益项目和金额

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用 √不适用

（三） 主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用 □不适用

二、股东信息

（一） 普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位：股

持股 5%以上股东、前 10 名股东及前 10 名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况□适用 √不适用

前 10 名股东及前 10 名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化□适用 √不适用

三、其他提醒事项

需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息□适用 √不适用

四、季度财务报表

（一） 审计意见类型

□适用 √不适用

（二） 财务报表

合并资产负债表

2026 年 9 月 30 日

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

合并利润表

2026 年 1—9 月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元, 上期被合并方实现的净利润为： 0 元。

合并现金流量表

2026 年 1—9 月

编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

（三） 2026 年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表□适用 √不适用

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026 年 10 月 30 日