??研讨会邀请｜光刻机实时控制与虚拟台架验证线上分享 AI 拉动设备资本开支上行，先进光刻装备的软件可靠性越来越关键。 怎么在真机就绪前完成整机联调？怎么反复复现过温、联锁这类偶发故障？
??主题：顶级光刻机研制背后的软件力量：高实时控制＋虚拟台架验证 ?? 11 月 26 日 14:00-15:00 ?????讲师：风河开物系统架构师 李景瑞
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