上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于非公开发行股票募投项目结项、节余募集资金永久补充流动资金及注销募集资金专户的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

一、募集资金基本情况

2020 年11 月12 日经中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020 号）的核准，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“本公司”）非公开发行不超过78,005,377 股新股，截至 2020 年 12 月 23 日，公司本次非公开发行人民币普通股 47,749,661 股，发行价格 28.79 元/股，实际募集资金总额为人民币1,374,712,740.19 元，扣除各项不含税发行费用人民币 20,184,669.49 元后，募集资金净额为人民币1,354,528,070.70 元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2020 年 12 月 23 日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众会字（2020）第 8380 号]。

二、募集资金投资项目基本情况

（一）募集资金投资项目的资金使用情况

公司本次非公开发行股票募集资金投资项目情况如下：

单位：万元

注：由于项目变更，调整后的投资总额合计与募集资金净额的差异为利息收入所致。

（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况

公司未进行过募集资金投资项目先期投入及置换。

（三）变更募投项目的资金使用情况

2023 年12 月7日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第三十八次会议审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》。公司结合 2020 年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。该募投项目变更事项已经 2023 年第三次临时股东大会审议通过。

三、本次结项募投项目资金的使用及节余情况

（一）募投项目结项及募集资金节余情况

本次结项项目为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，为原募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更而来，实施主体为上海至纯洁净系统科技股份有限公司，实施地点为上海，项目总投资为67,264.00 万元，拟使用募集资金 36,202.88 万元，项目建设期为36 个月，预定可使用状态日期为2026年 11 月。截至2026 年 10月30日，该项目已按建设方案完成工程施工及相关验收工作，达到预定可使用状态，满足结项条件，公司拟将本次非公开发行股票募投项目予以结项。

本次非公开发行股票募投项目募集资金投入情况如下：

单位：万元

注：“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额与剩余募集资金永久补充流动资金之间的差异为利息收入所致。

截至 2026 年 10月 30日，公司累计投入募集资金 128,997.32 万元，募集资金专户余额为6,747.15 万元。公司将上述剩余资金永久补充流动资金，实际转出金额以资金转出当日募集资金专户余额为准。

（二）本次结项募投项目节余募集资金的主要原因

本次结项募投项目节余募集资金合计6,747.15 万元，主要由以下两方面原因形成：一是公司本着合理、节约及有效的原则，积极进行采购比价、供应链管理等手段有效地控制成本，严格管控项目建设成本费用支出；二是部分设备及工程合同的质保金尚未到约定支付期限，为提高募集资金使用效率，公司拟将上述尚未到期的质保金一并纳入本次节余募集资金用于永久补充流动资金，质保期届满需实际支付时，由公司以自有资金支付。

四、本次结项募投项目节余募集资金的使用计划

鉴于公司本次非公开发行股票募投项目均已实施完毕，为合理使用募集资金，提高募集资金使用效率，增强公司持续经营能力，本着股东利益最大化的原则，根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及公司《募集资金管理办法》等相关规定，公司将节余募集资金 6,747.15 万元永久补充流动资金，用于公司主营业务相关的生产经营活动，实际金额以资金转出当日募集资金专户余额为准。同时，在相关节余募集资金永久补充流动资金转出后，公司办理了本次非公开发行股票募集资金专户的注销手续。注销专户信息如下：

注：公司于 2023 年 12 月25 日召开 2023 年第三次临时股东大会审议通过《关于单个募投项目节余资

金永久补流及部分募投项目变更的议案》，将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，并已重新签订三方监管协议，变更后新项目的开户行为兴业银行股份有限公司上海卢湾支行，专户账号为 216120100100259971。

相关募集资金专户注销后，公司与保荐机构、专户开户银行签署的相应募集资金三方监管协议随之终止。

五、本次将节余募集资金永久补充流动资金的影响

公司本次将募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金，是根据募投项目实际实施情况及公司经营需要作出的安排，有利于提高资金使用效率，满足公司主营业务发展对流动资金的需求，不会影响募投项目的正常运行，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。

六、相关审批决策程序及意见

根据《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》第6.3.22条及公司《募集资金管理办法》第十五条的规定，募投项目全部完成后，节余募集资金（包括利息收入）低于500 万元或者低于募集资金净额5%的，可以免于履行董事会审议及保荐机构或者独立财务顾问发表明确意见等相关程序。

公司本次非公开发行股票募投项目均已实施完毕，拟永久补充流动资金的节余募集资金为 6,747.15 万元，低于募集资金净额的 5%，符合上述豁免条件。因此，本次事项无需提交公司董事会、股东会审议，亦无需保荐机构发表专项核查意见。公司将在年度报告中披露相关资金使用情况。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2026 年 11 月 14 日