有投资者问公司未来有无EUV 7N级半导体氦气技术积累，公司回应目前没有。能否通俗解释一下不同纯度等级氦气（5N、6N、7N）的应用区别？公司未来会考虑向更高纯度方向研发吗？

2026-11-13 17:46:59

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尊敬的投资者，您好！行业内一般定义5N为高纯氦，5N5以上为超高纯氦，公司遵循行业一般规定命名产品。N是英文 “Nine”（表示 “9”）的缩写，用于表示气体纯度中 “9” 的个数，代表气体的纯净程度。数字越大，纯度越高，杂质含量越低。 5N 气体含义：纯度为 99.999%（即 5 个 9），杂质总含量≤10ppm（ppm 为百万分之一）。感谢您的关注。

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有投资者问公司未来有无EUV 7N级半导体氦气技术积累，公司回应目前没有。能否通俗解释一下不同纯度等级氦气（5N、6N、7N）的应用区别？公司未来会考虑向更高纯度方向研发吗？

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