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国林半导体参与标准制定,超洁净磁悬浮泵标准落地实施

2024年7月-12月期间,由浙江大学重点实验室牵头,协同北方华创、华海清科、盛美半导体、沈阳芯源微、正帆科技、至纯科技、国林半导体、创微微电子、中电科2所、上海市计量测试技术研究院等共计19家行业单位参编制定《超洁净磁悬浮泵》标准,并于2024年11月1日《超洁净磁悬浮泵》(T/CHPSA YY003-2024  T/CMES24019-2024)完成批报,12月1日正式发布实施。



国林半导体此次参与制定《超洁净磁悬浮泵》团体标准是“技术-市场-生态”的全链条竞争策略。对于国林半导体而言,其价值不仅仅是一次学习与链接的创新,更是一种长期参与定义行业零部件与装备规则起点的象征,同时国林半导体也将会在2025年度作为主持单位协同行业内知名半导体装备企业共同完成《半导体级超纯臭氧发生器》的团体标准制定。


下一步国林半导体将继续追求“以技术创新为发展导向,以满足客户需求为核心原则”的经营理念,不断努力强化发展,期待未来实现能够成为“半导体行业臭氧技术的定义者”。 


超纯磁悬浮泵在半导体行业和臭氧装备中具有广泛的应用前景和特殊的重要性。对于半导体行业而言,磁悬浮技术无需机械密封和润滑,彻底避免油污或颗粒物污染,保障晶圆良率,其PFA、PTFE等超纯衬里材料的耐腐蚀性可以耐受强酸强碱。其体现在高洁净度、无污染、高精度和长寿命等特性上,这些特性完美契合了半导体制造和臭氧处理过程中对流体传输系统的严苛要求。




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