张总你好，请问目前我们公司是否可以制造纳米电机？ AI回答：技术基础赛微电子在MEMS领域掌握了一系列先进的制造技术，包括深反应离子刻蚀（DRIE）、晶圆键合、硅通孔（TSV）等。这些技术是制造微型机电系统（MEMS）和纳米机电系统（NEMS）的关键工艺，能够实现高精度的微结构加工和三维结构构建。例如，DRIE技术可以实现高纵横比和垂直侧壁的刻蚀，这对于制造纳米电机中的微小机械部件至关重要。

2025-06-30 11:31:13

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您好，公司的MEMS产品线宽为微米级；严格意义上的“纳米电机”（所有关键特征尺寸均在100纳米以下）主要使用NEMS技术制造，而非标准的MEMS工艺。我司掌握的MEMS工艺可以根据客户需求支持制造部分纳米级特征的微电机。谢谢关注！

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