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资讯 随着集成电路制造技术不断向更小制程、更高精度、更严苛工艺环境演进，对配套材料的纯净度、耐腐蚀性、耐高温性及长期稳定性提出了近乎极致的要求。全氟醚橡胶因其卓越的耐等离子体、耐高温、耐化学腐蚀及极低释气等特性，已成为高端半导体制造设备（如刻蚀、沉积、清洗设备）中不可或缺的关键密封材料。
该材料已被列入工信部《重点新材料首批次应用示范指导目录（2024年版）》。在《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》中也强调，要提升半导体材料、设备及零部件的配套能力。全氟醚橡胶密封件作为半导体设备中的关键耗材，正迎来良好的政策发展机遇。当前，在国内自给缺口较大与国际环境复杂的双重背景下，实现全氟醚橡胶密封圈的自主可控与稳定供应，对集成电路产业发展具有重要战略意义。
但国内在该材料领域长期缺乏统一、先进的标准，制约了材料的规范化发展、可靠评价与规模化替代应用。因此，迫切需要行业头部企业共同推进标准建设，加快技术突破与产业升级，提升自主生产能力。基于此，中国化工学会积极布局，上海芯密科技股份有限公司、中昊晨光化工研究院有限公司、北京国化新材料技术研究院有限公司等单位积极推进《集成电路用全氟醚橡胶密封件》团体标准的制定工作。
现公开征集参编单位：
为确保标准的科学性、先进性、适用性与行业代表性，现面向全国广泛征集标准参编单位。我们诚挚邀请具备以下条件的企事业单位、科研院所、检测机构及行业专家积极参与：
材料研发与生产企业：专注于全氟醚橡胶原材料、密封件制品研发、生产的相关单位。集成电路制造与设备企业：半导体制造工厂（Fab）、半导体设备制造商及其零部件供应商。检测认证与科研机构：具备相关材料性能检测能力、从事高分子材料或半导体工艺研究的机构。资深行业专家：在氟橡胶材料、半导体工艺、标准制定等领域拥有丰富经验的专业人士。参编单位权益：署名权与影响力：作为标准起草单位/起草人列入标准正式文本，提升企业在行业内的权威地位与品牌影响力。
技术主导权：深度参与标准技术内容研讨与确定，将先进技术成果和实践经验融入标准，把握行业发展方向。
先发优势：优先获取标准最新动态与技术信息，提前布局产品研发与市场策略，抢占市场先机。合作交流平台：与产业链上下游顶尖单位及专家共商共议，拓展高端合作网络。若贵单位有参编意向，请联系：
李老师 15201692950
lixiaoqing@acmi.org.cn
彭老师 18971342309
pengxueli@acmi.org.cn
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