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资讯 近日，“维科杯·OFweek2026激光行业年度评选”在深圳登喜路国际大酒店成功举办，英诺激光高功率深紫外低频皮秒激光器AMT-266-5W-50K凭借深厚扎实的深紫外非线性转换技术、比肩国际顶尖水准的光学性能，成功摘得本届重磅创新奖项。
英诺激光长期深耕超快激光器、固体激光光源研发与产业化，聚焦工业级精密激光设备开发，持续为 Micro LED、柔性显示、半导体微加工等高精尖制造领域提供自主可控的国产化激光解决方案。维科杯·OFweek激光行业年度评选已举行十余届，作为中国激光行业的重量级行业评选，活动以其公正、客观的评选流程备受业界广泛关注，现已成为高科技领域具有专业性、影响力和代表性的行业评选活动。
深紫外精密加工行业长期面临两大核心问题深紫外光源是下一代显示、微电子晶圆制造、前沿科研的核心加工光源，长期以来行业高度依赖传统准分子激光器，产业发展存在难以绕开的技术瓶颈：
1. 传统准分子激光器综合成本高、稳定性差准分子激光设备体积庞大、能耗居高不下，光束模式波动大，日常维护频繁且使用成本昂贵；同时热效应难以控制，加工过程易造成基板损伤、良率偏低，无法适配 Micro LED 巨量转移、OLED 激光剥离（LLO）等超高精度微加工需求。2.国产深紫外皮秒光源功率、光束质量双受限此前国内同类 266nm 皮秒产品普遍存在脉冲能量不足、红外转深紫外转换效率低、光斑圆度差、整机使用寿命短等短板，高功率低频工况下晶体易出现非线性吸收损耗，长期稳定性无法匹配高端产线量产标准，高端制造光源长期被海外产品垄断。随着 Micro LED、折叠屏柔性显示产业爆发，激光剥离 LLO、芯片修复、晶圆低损伤划片工艺对深紫外皮秒光源提出更高要求：更高单脉冲能量、极致光束质量、超长整机寿命、紧凑免维护结构，市场亟需可完全替代进口的国产固体深紫外皮秒解决方案。英诺激光三大自研核心技术实现产品突破性创新本次获奖产品 AMT-266-5W-50k 高功率深紫外低频皮秒激光器，依托英诺激光全链条自研超快激光技术，采用全新光学设计，搭配多项自主专利模块，从底层攻克深紫外光源行业痛点，三大核心创新构筑产品核心壁垒：
1. 高转化效率非线性变频系统，能量利用率大幅跃升
自研高效稳定非线性转换专利技术，解决大脉冲能量下紫外晶体非线性吸收难题，红外至 266nm 深紫外转换效率达到 30%，远超行业同类设备水平；搭配自研非线性晶体专用高温加热炉，精准控温，实现功率和光束指向稳定输出。采用腔内空气洁净自循环系统，大幅提升单点使用寿命至 2000 小时以上。
2.极致光束光学设计，性能达国际一流水准
产品采用锁模稳定、窄线宽的种子源，固体放大光路克服了光束质量劣化和晶体散热问题，采用高质量非线性晶体，结合自有专利的非线性频率转换技术，最终实现深紫外光束质量 M2＜1.2、光斑椭圆度＞93%，光束接近衍射极限；配合光束整形系统，实现高均匀平顶输出特性，完美适配激光剥离、芯片修复光束整形工艺，加工边缘无毛刺、基板零热损伤，满足微米级精密制造严苛标准。
3.全链路洁净稳定架构，打造超长稳定整机寿命
激光器搭载自研长寿命锁模超快光纤种子源，配套腔内密闭空气净化、窗口镜防尘洁净系统，隔绝粉尘、水汽对紫外光学元件的侵蚀；全模块化集成设计简化整机结构，大幅降低故障概率，整机连续稳定运行寿命突破 20000 小时，大幅减少产线停机维护频次。
全面替代进口，赋能新型显示与半导体国产化
这款低频深紫外皮秒激光器精准覆盖两大高价值赛道，为国内高端精密制造提供自主可控光源方案：1.新型显示工业量产核心适配 OLED 柔性基板激光剥离 LLO、Micro LED 芯片巨量转移与缺陷修复，精准实现薄膜层无损伤清洁分离，有效降低报废率，助力折叠屏、Mini/Micro LED 产线降本增效，摆脱对准分子激光器的依赖。2.半导体与前沿科研领域可用于硅基、氮化镓晶圆低损伤划片、面板微观缺陷检测；同时可作为阿秒脉冲放大系统驱动光源，支撑高校、科研院所前沿光子科学实验。目前该设备已完成头部 Micro LED 客户产线试用验证，光束质量、功率和光束指向稳定性、脉冲能量、长期可靠性全部达到进口同规格激光器水准，凭借更低采购与运维成本，加速高端超快光源国产化替代进程。
此次斩获该奖项，是行业对公司超快深紫外激光研发实力、国产化突破成果的高度认可。行业竞争的核心，不仅在于功率参数，更取决于长期稳定性、光束质量、产品可靠性以及产业化应用能力。未来英诺激光将持续深耕超快激光技术赛道，迭代开发更高功率、更短脉冲系列产品，为新型显示、半导体制造、及其他前沿科研领域提供自主可控、性能领先的国产激光解决方案。
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英诺激光
关于英诺激光
英诺激光科技股份有限公司成立于2011年，是国家高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业，总部位于深圳市南山区，于2021年7月在创业板成功上市(股票代码:301021)。英诺激光专注于微加工领域激光器的研发、生产、销售及以激光模组形式为客户提供定制化微加工解决方案。公司是全球少数同时具有纳秒、皮秒、秒级微加工激光器核心技术和生产能力的工业激光器生产厂商，是全球少数实现工业深紫外纳秒激光器批量供应的生产商之一。产品包括DPSS调Q纳秒激光器、超短脉冲(皮秒、飞秒)激光器和MOPA纳秒激光器，涵括从红外到深紫外不同波段、从纳秒到飞秒多种脉宽。广泛应用于消费电子、新能源、3D打印、半导体、生物医学、新一代显示等领域，销售覆盖中国、美国、德国、荷兰、日本、韩国、新加坡等20多个国家和地区，进入全球知名企业供应链。
官网：www.inno-laser.com
邮箱：info@inno-laser.com
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