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公司有ALE原子层刻蚀工艺设备吗？具体原理是什么？
您好，公司ALE设备已实现多项工艺应用。ALE核心原理是以单原子层为单位，通过“表面吸附—反应去除”的分步循环反应，逐层精准去除材料表面原子，从而实现高精度、高均匀性且低损伤的刻蚀过程。感谢关注！
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