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按行业设备厂商公开测算,一台典型的单片湿法清洗机台改用臭氧水方案后,一年可节省约 58.7 万升硫酸,折合运行成本约50万美元。同时含硫废酸属于危废,处理费用按吨计价,且监管趋势持续收紧。硫酸用量越大,这项负担越重。设备厂商公开的对比数据显示,臭氧水方案可将化学品消耗降低约94%,超纯水消耗降低约 70%,因为省去了大量冲洗硫残留的环节。请问作为湿法设备专家,臭氧水是否比传统SPM更加经济、环保?
2026-08-11 16:29:06
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您好,设备工艺选型不只看成本,需结合污染物类型、工艺节点要求、产能节拍综合判断。感谢关注!
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