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请问公司，在清洗设备中，臭氧水清洗比传统rca和spm清洗相比，在先进制程上具有哪些优势？是否为先进制程清洗方式的重要选择？
您好，随着半导体制程持续演进，器件结构与材料体系日趋复杂，清洗技术路线呈现多技术协同、分场景适配的特征。臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系。感谢关注！
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