请问：目前半导体设备精密陶瓷零部件发展情况及未来规划？

2026-08-14 17:30:06

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您好，公司持续加大精密陶瓷零部件领域的研发和投入力度，已开发了氧化铝、氮化铝精密陶瓷零部件产品，建立了精密陶瓷零部件制造工艺平台。开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，已具备6/8/12英寸静电卡盘和加热盘批量生产能力并不断推进自动化产线建设。谢谢您的关心

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