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美国对华检测设备管制升级，公司 14nm 明场缺陷检测设备验收顺利，7nm 设备已交付头部客户，打破 KLA 垄断。请问：1）14nm/7nm 设备在中芯国际、长江存储的装机量？2）管制升级是否加速公司国产替代进程，订单转化率提升多少？3）上海精积微明场检测设备 2026 年预计贡献多少收入？
您好！关于公司产品、客户及业务情况请您参阅公司定期报告相关章节内容。感谢您的关注，谢谢！
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