2026 年 8 月 31 日—9 月 2 日,第十四届半导体设备年会暨半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)在无锡太湖国际博览中心圆满落幕。
作为国内半导体设备与核心部件领域极具权威性的行业盛会,CSEAC 历经十四届积淀,汇集行业专家、学者及全产业链企业,拥有强大的品牌影响力与产业资源号召力,为行业构建技术交流、经贸洽谈、市场拓展、产品推广的优质对接平台。
多浦乐携超声扫描显微镜精彩亮相,现场演示的 MLCC 内部缺陷检测获得参展嘉宾一致好评。
多浦乐超声显微镜
多浦乐 Doppler Eagle 400 系列超声扫描显微镜专为多层陶瓷电容(MLCC)、晶圆、芯片封测领域的微米级内部缺陷检测打造,能够精准识别分层、孔隙、裂纹、界面结合不良、厚度异常等缺陷,在不破坏样品的前提下输出内部质量检测数据,为半导体器件的可靠性把关提供有力支撑。
核心参数
参数项
指标X 轴最大扫描速度1000 mm/s脉冲重复频率65 kHz光栅尺分辨率0.1 μm最小成像精度0.5 μm/pixel增益调节范围-32~80 dB探头配套频率5-200 MHz高速扫描与高分辨率成像兼备,从大批量在线筛查到精细缺陷分析,均可游刃有余。
现场演示:MLCC 检测效果
展会现场,多浦乐以 MLCC(多层陶瓷电容)为样件进行了实时检测演示。
样件信息: MLCC 工件尺寸为长 3mm × 宽 2mm。
超声显微镜凭借声学成像原理,可无损穿透封装体内部,逐层扫描电极与介质层结构。现场输出的两组检测结果,直观展现了设备的成像能力:
检测效果一:
检测效果二:
展位盛况
得益于展会强大的号召力与优异的现场检测效果,多浦乐展位人潮涌动、气氛热烈。参展嘉宾纷纷驻足观看 MLCC 检测演示,与技术人员深入探讨工艺细节与应用方案,并纷纷称赞国产设备已达到行业领先水准。
展望未来
以匠心致初心,以技术赢未来。本次参展,多浦乐全方位展示了在超声无损检测领域的深厚技术积淀,并与产业链上下游伙伴达成了更广泛的交流与合作共识。
征途不止,创新不息。面向未来,多浦乐将继续深耕半导体检测领域,以更高性能、更高可靠性的国产检测装备,助力中国半导体产业迈向新阶段。
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