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资讯 转载来源：芯中有术 新凯来全线设备盘点 http://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzU5MzM1NzQ5MQ==&mid=2247484328&idx=1&sn=84e5341393271d4aae7be60e7c249a62&scene=45#wechat_redirect
新凯来全线产品盘点：
31 款设备的"群山矩阵"，强在哪、弱在哪
用中国名山给设备命名的"国家队"，是现象级出圈，还是真材实料？
SEMICON China 2025 新凯来（SiCarrier）展台。图源：证券时报·张淑贤 摄（公开报道）
一、一夜出圈：SEMICON China 2025 的"人气王"
2025 年 3 月 26 日—28 日，SEMICON China 2025 在上海举行。一家来自深圳的公司，第一次参展就成为全场人气最旺的展台之一——展台被观众围得水泄不通，甚至有从业者感慨："一种设备背后可以催生两三家上市公司，他们一下子就推出了这么多种设备。"
这家公司就是深圳市新凯来技术有限公司（SiCarrier）。按官方及媒体公开口径，它在展会上首次披露了6 大类 31 款设备：18 款半导体工艺装备，覆盖刻蚀、薄膜、扩散（热处理）；13 款量检测装备，覆盖光学检测、光学量测、PX 量测和功率检测。所有产品一律以中国名山命名——武夷山、峨眉山、三清山、普陀山、阿里山、长白山、岳麓山、天门山……形成了辨识度极高的"群山矩阵"。
展会最后半天，新凯来展台前依然人流不断。图源：证券时报·张淑贤 摄（公开报道）
值得注意的是展台上的一个细节：现场没有整机样机，观众看到的是背景板上 30 余款产品图和一批 1:9～1:15 的精密缩比模型。新凯来展台工作人员当时对记者表示："这是首次发布产品，我们展示的设备都已量产，设备都在客户现场了。"但也有现场人士坦承："有些工艺还没量产，比如 PVD 技术可以长出二三十种膜，我们目前能量产的只有七八种，剩下的还在持续验证中。"——这句话，恰好是理解新凯来"强在哪、弱在哪"的钥匙。
新凯来展墙：面向 DRAM、LOGIC、NAND 等客户，支撑 PlanarFET→FinFET→GAAFET 工艺持续演进。图源：证券时报（公开报道）
二、新凯来是谁：深圳国资体系下的装备"国家队"
公开工商资料显示：深圳市新凯来技术有限公司成立于 2021 年 8 月 24 日，注册资本 15 亿元；关联主体深圳市新凯来工业机器有限公司成立于 2022 年 6 月，注册资本约 10.8 亿元，注册地均为深圳市龙岗区。两家公司法定代表人均为余海。据工商信息类平台与多家媒体（南方+、证券时报等）报道，公司由深圳市重大产业投资集团体系控股，实际控制人为深圳市人民政府国有资产监督管理委员会——这层国资背景，也是它被冠以"半导体设备国家队"称号的主要依据。
新凯来深圳办公/制造园区（C6、C7 厂房）。图源：证券时报·张淑贤 摄（公开报道）
从公司自述看，新凯来定位于"半导体装备及零部件、电子制造设备的研发、制造、销售与服务"，官网产品入口覆盖半导体制造、家电及终端、汽车与能源、计算机通讯、通用电子制造五大方向；证券时报记者实探时，展台工作人员还特别强调了一个差异化特点——"很多零部件都是自研的"。
新凯来官网"半导体制造"业务入口截图（图源：sicarrier.com 官网）
此外，媒体还广泛提及"公司核心团队具备 20 年以上电子设备技术开发经验""与华为星光工程部存在渊源"等说法。需要说明的是：团队背景这类信息在公开报道口径中流传较广，但公司官方从未正式披露细节，本文按市场信息标注，不做事实认定。
三、"群山矩阵"全景：一张图看懂全线产品
把 SEMICON China 2025 发布的 31 款设备、加上 2026 湾芯展新增的两款设备归拢起来，新凯来的产品版图可以画成这样一张矩阵：
新凯来"群山矩阵"全景（据 SEMICON China 2025 与 2026 湾芯展公开报道整理）
展墙左半区为工艺装备，右半区为量检测装备，下方摆放 1:9～1:15 缩比模型。图源：证券时报（公开报道）
四、六大工艺装备：每座"山"对着一道工序
新凯来的工艺装备线，正好对应芯片前道制造中投资强度最高、技术壁垒最高的几道工序。先看它们在整条工艺链上的位置：
六大工艺装备对应的前道工序链（示意）
① 武夷山（ETCH 刻蚀）：干法刻蚀是图形化的核心。公开报道显示，武夷山系列至少有 3 款：1 号 CCP 电容耦合等离子体介质刻蚀（面向高深宽比介质孔）、2 号 ICP 感应耦合硅/金属刻蚀（12 英寸精细硅/金属刻蚀）、3 号自由基刻蚀（高选择性）。展墙上的说法是"覆盖精细介质刻蚀、高深宽比介质孔刻蚀、精细硅/金属刻蚀与高选择性刻蚀"。刻蚀是前道国产化程度相对最高的环节之一——北方华创、中微公司已在此深耕多年，武夷山的意义在于给晶圆厂增加了一个新的选择项。
② 峨眉山（EPI 外延）：12 英寸单片减压外延，公开报道包含 1 号、2 号、3 号机型，支持锗硅外延、磷硅外延及沟道、超晶格外延生长。外延设备此前长期由 AMAT（Epi 系）、Lam、TEL 等主导，国产份额极低，峨眉山是补短板属性最强的产品线之一。
③ 三清山（RTP 快速热处理）：覆盖栅极氧化/氮化、均温/尖峰退火与超快尖峰退火，用于高质量氧化膜生长、离子注入后激活与金属硅化物形成。RTP 的难点在于毫秒级升降温下的温度均匀性与控温精度，1 号、2 号、3 号机型面向不同退火场景。
④ 普陀山（PVD 物理气相沉积）：覆盖金属平面膜沉积、中通金属堆栈层及硬掩膜沉积、后道金属互连沉积。展台工作人员的说法是"可以长出二三十种膜，目前能量产七八种"——这句实话也说明其薄膜库仍在填充过程中。
⑤ 阿里山（ALD 原子层沉积）：覆盖介质侧墙阻挡层、高保形性介质薄膜、高介电常数栅介质及高深宽比金属栅极的原子层沉积，包含 PEALD 与 Metal ALD。ALD 是先进制程（High-k 栅介质、金属栅极、侧墙）不可替代的薄膜手段，也是 GAAFET 时代用量持续上升的品类。
⑥ 长白山（CVD 化学气相沉积）：涵盖 PECVD 介质薄膜（含先进封装应用）与 Metal CVD 高保形、高选择性金属薄膜。CVD 是薄膜设备中用量最大的品类，长白山与阿里山、普陀山共同构成完整的薄膜"三件套"。
展墙薄膜产品区，可见 ALD（阿里山）等系列产品的图文介绍。图源：证券时报（公开报道）
五、量检测装备：切入国产化率最低的环节
相比工艺装备，缺陷检测与量测设备长期是国产化率最低的半导体设备品类之一，KLA、Onto 等海外厂商占据主导。新凯来在这条线上投入了 13 款产品（占比超过四成），意图非常明显：
| 产品（山名） | 类别 | 用途（公开报道口径） |
|---|---|---|
| 岳麓山 BFI | 明场有图形检测 | 研发独特缺陷与量产关键缺陷，支持光刻工艺参数优化 |
| 丹霞山 DFI | 暗场有图形检测 | 全场景随机缺陷、在线光刻显影后检测 |
| 蓬莱山 PC | 无图形检测 | 晶圆出货/进货质检、镀膜工艺研发与监控 |
| 莫干山 MBI | 掩模检测 | 空白掩模缺陷检测，服务掩模厂过程控制 |
| 天门山 DBO/IBO | 光学量测 | 套刻（OVL）量测，支持 SWL/MWL/XYS/CPL 等模式 |
| 沂蒙山 AFM | 物理量测 | 原子力显微量测（膜厚、应力等） |
| 赤壁山 XP/XD/XF | X 射线量测 | XPS 光电子能谱 / XRD 衍射 / XRF 荧光光谱（组分与元素） |
| RATE-CP / KGD / FT | 功率检测 | 功率器件晶圆/芯片电性能检测 |
| 六盘山 PMI（2026 新增） | 掩模检测 | 图形掩模缺陷检测设备 |
| 井冈山 mEBI（2026 新增） | 电子束检测 | 多电子束晶圆缺陷检测设备 |
量检测装备展墙：PX 量测和功率检测产品区。图源：证券时报（公开报道）
从岳麓山 BFI 到井冈山 mEBI，新凯来量检测产品线的演进路径清晰：先做光学（明场/暗场/无图形/掩模），再做量测（套刻、原子力、X 射线），然后向更高端的电子束成像（mEBI）延伸——这正是 KLA 用几十年建立的产品纵深。以光学检测为例，其原理是高亮度光源照射晶圆表面，反射光与散射光被物镜收集、经 TDI 相机转化为高分辨率图像，再通过图像分析实现高灵敏度缺陷检测；原理不复杂，难在灵敏度和误报率的工程平衡。
六、产品生态：设备之外的软件与仪器
除设备本体，媒体还报道了新凯来体系下的两个延伸方向：启云方布局电子工程 EDA，做原理图与 PCB 设计软件；万里眼做高速实时示波器，公开报道称带宽突破 90GHz。设备 + 软件 + 仪器的组合，让新凯来的野心不止于"卖机台"，而是搭一个覆盖制造环节的工具生态。当然，这两块业务的成熟度与市场验证情况，公开信息同样有限。
七、优点：新凯来强在哪里
| 优势 | 说明 |
|---|---|
| 产品覆盖面罕见 | 一家成立 3 年多的公司一次性发布 31 款设备，同时覆盖刻蚀、薄膜、热处理三大工艺族与光学/电子束/X 射线量检测，这个宽度在国内新创企业中没有先例 |
| 工艺 + 量检测同步布局 | 量检测是国产化率最低的环节，多数国产厂商绕着走，新凯来直接把 13 款量检测设备做进产品线，补短板属性强 |
| 国资背景与资源强度 | 深圳国资体系（公开报道口径）带来资金、人才引进与本地晶圆厂生态的协同，据公开报道注册资本合计约 25 亿元级别 |
| 零部件自研 | 展台工作人员明确强调"很多零部件都是自研"，在出口管制常态化背景下，垂直整合有利于交付连续性 |
| 起步即入厂 | 按证券时报等报道，展出设备"都已量产、都在客户现场"，媒体提及的客户包括中芯国际、华虹集团、长江存储、鹏芯微等（媒体口径，非公司官方名单） |
| 生态化打法 | 设备 + EDA（启云方）+ 仪器（万里眼），对标的是平台型装备公司的形态而非单品类供应商 |
八、短板与风险：冷静看待"群山"
| 短板 / 风险 | 说明 |
|---|---|
| 公开技术参数极少 | 官网产品页信息披露有限，媒体现场报道以产品图与缩比模型为主；各机台的关键指标（刻蚀均匀性、套刻精度、外延厚度控制等）几乎没有公开数字，外部难以验证技术水平 |
| 量产工艺库仍在填充 | "PVD 能长二三十种膜、目前能量产七八种"的说法说明：机台到位 ≠ 工艺成熟，薄膜/刻蚀配方需要按客户工艺逐个验证，这是时间堆出来的 |
| 与头部对手差距仍大 | 对标 AMAT、Lam、TEL、KLA 数十年的专利、装机量与客户工艺库，新凯来仍是极早期玩家；国内同时还要面对北方华创、中微公司等已规模化的对手竞争 |
| 订单与估值数据为媒体口径 | "在手订单超百亿元""估值数百亿"等数字均来自媒体转述，公司未发布审计数据；"不接受采访"也限制了外部核验 |
| 可靠性与服务网络待验证 | 半导体设备的核心竞争力是长期稳定性（MTBF）、耗材与机台服务响应，这些只能在数百上千台装机之后才能证明 |
| 没有光刻机 | 部分舆论把"攻克光刻"的期待放在新凯来身上，但其公开产品线并不包含光刻设备——期待需要放回产品事实的边界内 |
把两边放到一张图上看，新凯来的位置是这样的：
评估新凯来时需要区分的两类信息
九、结语：从"单点突破"到"体系化登峰"
以中国名山命名产品，是新凯来的品牌巧思，也暗合国产半导体装备的行业叙事：每攻克一道工序，都是翻越一座大山；而山与山相连，终将成脉。
客观地说，新凯来 2025 年这场"首发即 31 款"的亮相，真正稀缺的不是任何单一机台的技术神话，而是体系化布局的意图与资源密度：工艺装备与量检测同步推进、零部件自研、软件仪器协同，这是平台型装备公司的完整形态。至于这些"群山"能否规模化走进头部晶圆厂的产线、能否在先进节点上跑出可验证的良率数据，仍有待时间检验。但至少，风向已经清晰可感——国产半导体装备的替代进程，正在从"单点突破"走向"体系化登峰"。
资料来源
- 新凯来官网（sicarrier.com）：公司简介、半导体制造业务入口
- 证券时报《新凯来火爆出圈！"半导体设备领域DeepSeek"？记者火速实探深圳办公地》（2025-03，展台实拍图源）
- 新华财经《新凯来火爆出圈 半导体设备国产化热度高涨》（2025-03-28）
- 21 世纪经济报道《新凯来 SEMICON China"C 位出道"》（2025-03-28）
- 南方+《四年蓄势，深圳半导体设备"国家队"率先破局》（2025-03-30）
- 南方+ 2026 湾芯展报道与《湾芯展直击：新凯来携"群山矩阵"亮相深圳》（2026-10-14/15）
- 工商信息类公开平台（注册时间、注册资本、法定代表人等）
说明：本文产品信息来自 SEMICON China 2025、2026 湾芯展现场展示资料与媒体公开报道，具体技术参数以厂商官方发布为准；订单、估值等数据为媒体报道口径，非公司审计数据。文中企业归属、地区表述均按公开注册地口径描述。
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