中微公司入选 2026 年度卓越级智能工厂

近日，工业和信息化部正式公示2026年度卓越级智能工厂项目名单，中微半导体（上海）有限公司（以下简称“中微公司”）申报的“全链协同的微观制造半导体装备智能工厂”项目成功入选。此次入选是对中微公司临港产业化基地在数字化、智能化转型领域取得突破性成果的权威认可。

中微公司临港产业化基地俯瞰图

智能工厂梯度培育行动由工业和信息化部、国家发展改革委、财政部、国务院国资委、市场监管总局、国家数据局六部门联合开展，分层分级推进，入选企业经企业申报、市级专家与国家级专家评审等多重严格环节遴选产生。其中卓越级智能工厂定位为“全国领先的发展标杆”，要求企业已完成先进级智能工厂建设，实现设计生产经营数据集成贯通与分析、生产过程及供应链综合优化，推动多场景智能化应用。

此前，中微公司临港产业化基地已先后获评临港新片区智能工厂、上海市先进级智能工厂。此次，中微公司凭借在半导体装备制造领域的深度数字化实践和系统化AI应用成果，再次从众多申报企业中脱颖而出，成为2026年全国唯一获此殊荣的半导体装备制造工厂。

2026年度卓越级智能工厂项目公示名单（部分）

半导体是数码产业的“基石”，高端半导体设备更是芯片制造的核心命脉。锚定国家半导体产业自主可控，中微公司于 2021年启动临港产业化基地建设，总占地157亩，聚焦刻蚀机、薄膜设备等高端半导体装备研发与制造。

面向半导体高端装备制造的管理特点，中微公司以数字化、智能化双轮驱动促发展，上线 ERP、MES、PLM 等40余套业务系统，打通研发、生产、供应链全数据链路，实现全域高效运营，达成产品研制周期由3-5年缩短至2年内、机台交付周期缩短近40%、库存周转提速约48%的显著成效。面向 “AI + 制造” 前沿方向，中微公司组建近百人规模的AI研发团队，临港产业化基地已落地12个AI应用场景，本地部署多套基础大模型，构建结构设计、工艺优化、设备运维等9大智能体应用，全面服务于产品研发设计、生产质量管控等环节。

中微公司智能工厂洁净室

从虚拟仿真验证缩短控制系统验证周期76%，到AI视觉检测保证精密装配提升检测效率80%；从智能晶圆调度系统提高机台产能15%，到全链路构建数智精益体系助力运营管理 —— 一系列智能化场景的落地，让中微公司临港产业化基地实现了精密制造与柔性生产的深度融合。

中微公司临港产业化基地智能仓储

中微公司临港产业化基地2023年建成投产，投用后整体效能提升显著，已成为临港集成电路产业集群的核心增长力量。在产业带动层面，基地已牵引近20家上下游配套企业集聚临港，成为临港新片区 “东方芯港” 世界级集成电路产业集群建设的重要节点。

中微公司临港产业化基地外景

此次入选卓越级智能工厂，是中微公司在智能制造领域的重要里程碑。未来，中微公司将继续以智能化、数字化为引擎，持续提升微观制造装备的研发与制造能力，继续秉承“五个十大”的企业文化，使企业总能量、对外竞争的净能量最大化，实现高速、稳定、健康、安全的高质量发展，在规模、产品竞争力和客户满意度上成为国际第一梯队的微观加工设备公司。

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称:中微公司，证券代码:688012)致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、包括二十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到3纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用，并已实现CMP湿法设备多种应用的覆盖。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD、LPCVD、ALD、PVD、PECVD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司已全面布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备，包括大平板显示设备等。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。在近五年的全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司总评分四次获得第三，薄膜设备四次被评为第一。