信律師事務务所 G NAN URTIG SUNDIAL LAW FIRM

中国 深圳 福田区 益田路6001号太平金融大厦11-12楼 邮政编码：51803811F-12F, TAIPING FINANCE TOWER, 6001 YITIAN ROAD, FUTIAN DISTRICT,SHENZHEN, P.R. CHINA

电话（Tel.）：（0755）8826 5288 传真（Fax.）：（0755）8826 5537网址（Website）：https://www.sundiallawfirm.com

广东信达律师事务所

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2025 年度股东会的

法律意见书

信达会字（2026）第107 号

致：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

广东信达律师事务所（以下简称“本所”）接受矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“公司”）委托，指派律师出席并见证公司 2025 年度股东会（以下简称“本次股东会”），并依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规定，就本次股东会的召集和召开程序、召集人资格、出席会议人员资格、会议表决程序及表决结果等事项出具本法律意见书。

为出具本法律意见书，本所律师审查了公司本次股东会的有关文件和材料。贵公司保证其所提供的文件真实、完整，其复印件与原件相符，且一切足以影响本法律意见书的事实和文件均已向本所律师披露，而无任何隐瞒、疏漏。

为出具本法律意见书，本所律师特作如下声明：

1、在本法律意见书中，本所律师仅对本次股东会的召集和召开程序、召集人资格、出席会议人员资格、会议表决程序及表决结果是否符合《公司法》等法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定发表意见，不对会议审议的议案内容以及该等议案所表述的事实或数据的真实性、准确性和完整性发表意见。

2、本所律师无法对网络投票过程进行见证，参与本次股东会网络投票的股东资格、网络投票结果均由相应的证券交易所交易系统和互联网投票系统予以认证。

3、本所及本所律师依据《证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。

4、本所同意将本法律意见书作为本次股东会的公告材料，随同其他会议文件一并报送有关机构并公告。除此以外，未经本所同意，本法律意见书不得为任何其他人用于任何其他目的。

鉴此，本所律师根据有关法律法规的要求，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出席了本次股东会，并对本次股东会召集和召开的有关事实以及公司提供的文件进行了核查验证，现出具法律意见如下：

一、本次股东会的召集和召开程序

1、2026 年 4 月 20 日，公司召开第三届董事会第三次会议并作出决议，决定于 2026 年5月13 日下午14 点30 分召开公司2025 年度股东会。

2、2026 年 4 月 22 日，公司董事会在巨潮资讯网等媒体上刊载了《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司关于召开2025 年度股东会的通知》。该通知载明了会议召开的时间、地点、方式，以及会议召集人和股权登记日等内容，符合《公司法》等相关法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定。

1、出席本次股东会现场会议的股东及股东代理人共计6 人，代表公司有表 决权股份数为15,297,144 股，占股权登记日公司有表决权股份总数的36.6598%。 经本所律师核查，上述股东出席本次股东会现场会议并行使投票表决权的资 格合法有效。

2、根据深圳证券交易所提供的数据，通过网络投票方式参加本次股东会投 票的股东共计63 人，代表公司有表决权股份数为6,986,144 股，占股权登记日公 司有表决权股份总数的16.7424%。

3、本次股东会采取现场表决与网络投票相结合的方式召开。

2026 年5月13 日下午14 点30 分，公司本次股东会的现场会议在广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3 号厂房四楼会议室召开，会议实际召开的时间、地点符合会议通知及相关公告所载明的内容。

根据本次股东会的会议通知及相关公告，本次股东会的网络投票时间为：通过深圳证券交易所系统进行网络投票的具体时间为2026年5月13日的交易时间，即 9:15-9:25、9:30-11:30 和 13:00-15:00；通过深圳证券交易所互联网投票系统投票的具体时间为2026 年 5月13 日9:15 至15:00 期间的任意时间。

4、本次股东会由公司董事长主持。

本所律师认为，本次股东会的召集和召开程序符合《公司法》等相关法律法规、规范性文件及《公司章程》的有关规定。

二、本次股东会的召集人资格

本次股东会由公司董事会召集。公司董事会具备召集本次股东会的资格。

三、本次股东会出席、列席人员的资格

（一）出席本次股东会的股东及委托代理人

1、出席本次股东会现场会议的股东及股东代理人共计 6 人，代表公司有表决权股份数为15,297,144 股，占股权登记日公司有表决权股份总数的36.6598%。

经本所律师核查，上述股东出席本次股东会现场会议并行使投票表决权的资格合法有效。

2、根据深圳证券交易所提供的数据，通过网络投票方式参加本次股东会投票的股东共计63 人，代表公司有表决权股份数为6,986,144 股，占股权登记日公司有表决权股份总数的16.7424%。

本所律师无法对网络投票股东资格进行核查，以上通过网络投票系统进行投票的股东资格，由网络投票系统提供机构深圳证券交易所验证其身份。

根据上述信息，通过现场出席和网络投票方式出席本次股东会投票的股东共计69 人，代表公司有表决权股份数为 22,283,288 股，占股权登记日公司有表决权股份总数的53.4022%。其中，参加本次股东会投票的中小股东共计63 人，代表公司有表决权股份数为 1,003,986 股，占股权登记日公司有表决权股份总数2.4061%。

（二）出席、列席本次股东会的其他人员

1、公司董事、高级管理人员通过现场及线上方式出席、列席了本次股东会。

2、本所律师列席了本次股东会。

本所律师认为，上述人员均有资格出席、列席本次股东会。

四、本次股东会的表决程序和表决结果

（一）经本所律师核查，本次股东会所审议的议案与会议通知所述内容相符，本次股东会没有对会议通知中未列明的事项进行表决，也未出现修改原议案和提出新议案的情形。

（二）本次股东会根据公司章程的规定进行表决、计票和监票，会议主持人当场公布表决结果，出席股东会的股东没有对表决结果提出异议。

（三）本次股东会审议通过了如下议案：

1、 《关于公司<2025 年年度报告>及<2025 年年度报告摘要>的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

2、 《关于公司<2025 年度董事会工作报告>的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

3、 《关于公司2025 年度利润分配预案的议案》

表决结果：同意 22,281,688 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9928%；反对1,600 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0072%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,386 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8406%；反对1,600 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1594%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

4、 《关于续聘2026 年度审计机构的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份

总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

5、 《关于公司使用闲置自有资金进行委托理财的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

6、 《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

7、 《关于2026 年度向金融机构或非金融机构申请综合授信额度的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的

99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

8、 《关于制定<董事、高级管理人员薪酬管理制度>的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

9、 《关于确认董事2025 年度薪酬及2026 年度薪酬方案的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

10、 《关于修改<公司章程>的议案》

表决结果：同意 22,281,888 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的99.9937%；反对1,400 股，占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0063%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0股），占出席本次股东会有效表决权股份总数的 0.0000%。

中小股东表决情况：同意 1,002,586 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的99.8606%；反对1,400 股，占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的 0.1394%；弃权 0 股（其中，因未投票默认弃权 0 股），占出席本次股东会中小股东有效表决权股份总数的0.0000%。

根据表决结果，本次股东会的上述议案均获得通过。

经查验，本所律师认为，本次股东会的表决程序符合相关法律、法规及规范性文件的规定，亦符合《公司章程》的有关规定。

五、结论意见

综上所述，本所律师认为，本次股东会的召集和召开程序符合《公司法》和《公司章程》等的规定；会议召集人具备召集本次股东会的资格；出席及列席会议的人员均具备合法资格；本次股东会的表决程序符合《公司法》等相关法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定，表决结果合法有效。

本法律意见书正本三份，无副本，经本所负责人、经办律师签字并加盖本所公章后生效。

（以下无正文）

（本页无正文，为《广东信达律师事务所关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 2025 年度股东会的法律意见书》的签章页）

广东信达律师事务所（盖章）

负责人：

李 忠

经办律师：

李佳霖

经办律师：

陈 丹

年 月 日