矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2026 年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告

本公司及董事会全体成员保证信息披露内容的真实、准确和完整，没有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

根据《上市公司募集资金监管规则》和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2 号——创业板上市公司规范运作》的相关规定，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“公司”）编制了 2026 年半年度募集资金存放与使用情况专项报告，现将具体情况报告如下：

一、 募集资金基本情况

(一) 实际募集资金金额和资金到账时间

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025138 号）核准，并经深圳证券交易所同意，公司首次公开发行人民币普通股（A股）1,043.18 万股，每股面值人民币1.00 元，每股发行价格为52.28 元，募集资金总额为 54,537.55 万元，扣除发行费用（不含税）之后实际募集资金净额46,352.87 万元。

上述募集资金已于2025 年3月17 日划至公司指定账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已于 2025 年 3 月 17 日对本次发行的募集资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015 号）。

(二) 募集资金使用和节余情况

注：以上数据如有尾差，为四舍五入所致，下同。

二、 募集资金存放和管理情况

(一) 募集资金管理情况

为了规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者权益，公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2 号——创业板上市公司规范运作》等法律、法规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，制定了《募集资金使用管理制度》，对募集资金的存放和使用进行专户管理。

公司及保荐券商招商证券股份有限公司分别与招商银行深圳分行、浦发银行深圳分行、农业银行深圳龙岗支行、中国民生银行深圳分行签署了《募集资金三方监管协议》（因部分支行无签署权限，故由其上级分行或支行与公司及保荐机构签订《募集资金三方监管协议》），明确了各方的权利和义务。具体内容详见公司于 2025 年 4 月 1 日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于签订募集资金三方监管协议的公告》（公告编号：2025-001）。

《募集资金三方监管协议》与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议得到了切实履行。

(二) 募集资金专户存储情况

截至 2026 年6月30 日，本公司有5 个募集资金专户，募集资金存放情况如下：

三、 2026 年半年度募集资金的实际使用情况

(一) 募投项目资金使用情况

公司 2026 年半年度募集资金使用情况详见本报告附件《2026 年半年度募集资金使用情况对照表》。

(二)募投项目的实施地点、实施方式变更情况

截至 2026 年6月30 日，公司不存在募投项目实施地点、实施方式变更的情况。

(三)募投项目先期投入及置换情况

公司于2025 年4月 27 日召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金额为人民币7,179.48 万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额5,436.99 万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增值税）金额1,742.49 万元。保荐机构招商证券股份有限公司对此出具了专项核查意见，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的鉴证报告》（容诚专字[2025]100Z1189 号）。具体内容详见公司于 2025年4月29 日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2025-019）。

公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目的实施期间，根据实际需要并经相关审批后，先以自有资金方式支付募投项目的相关款项，后续以募集资金等额置换，定期从募集资金专户划转等额资金至公司非募集资金账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。具体内容详见公司于 2025 年 4 月 16 日在巨潮资讯网（http://www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的公告》（公告编号：2025-005）。报告期内，公司以募集资金等额置换使用自有资金支付募投项目所需资金金额合计1,555.99 万元。

(四)用暂时闲置募集资金临时补充流动资金情况

截至 2026 年6月30 日，公司不存在使用暂时闲置募集资金临时补充流动资金的情况。

(五)用暂时闲置募集资金进行现金管理情况

公司于2026 年4月 20 日召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下，使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自2025 年年度股东会审议通过之日起12 个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。具体内容详见公司于2026 年 4 月 22 日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2026-013）。

截至 2026 年6月30 日，公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的情况如下：

(六)节余募集资金使用情况

截至 2026 年6月30 日，公司不存在节余募集资金。

(七) 超募资金使用情况

截至 2026 年6月30 日，公司不存在超募资金。

(八)尚未使用的募集资金用途及去向

截至 2026 年 6 月30 日，尚未使用的募集资金合计为 25,537.47 万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为 23,500.00 万元，存放在募集资金专户余额为 2,037.47 万元。

(九)募集资金使用的其他情况

公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科技”）为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的实施主体，同时矽旺科技拟新增开立募集资金专户，用于“探针台研发及产业基地建设项目”投入募集资金的存放、管理和使用。具体内容详见公司于2025 年4月16 日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的公告》（公告编号：2025-007）。

2026 年7月15 日，公司与全资子公司矽旺科技与开户银行上海浦东发展银行股份有限公司深圳分行、保荐机构招商证券股份有限公司签署了《募集资金三方监管协议》，并开立了募集资金专户。具体内容详见公司于 2026 年 7 月 16日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于新增募集资金专户并签订募集资金三方监管协议的公告》（公告编号：2026-031）。

除上述情形外，公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、 变更募投项目的资金使用情况

截至 2026 年6月30 日，公司不存在变更募投项目的情况。

五、 募集资金使用及披露中存在的问题

公司严格按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、准确、完整地披露了公司募集资金存放及实际使用情况，不存在募集资金使用及管理违规的情形。

特此公告。

附表：《2026 年半年度募集资金使用情况对照表》

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2026 年 8 月 25 日

附表：2026 年半年度募集资金使用情况对照表 单位：万元