请问公司，在先进制程领域里，HARP工艺比传统TEOS工艺的优势在哪？HARP工艺里，O3发生器是否为核心系统之一？

2026-08-10 09:43:00

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请问公司，在先进 制程领域里，HARP工艺比传统TEOS工艺的优势在哪？HARP工艺里，O3发生器是否为核心系统之一？