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资讯 6月17日，淄博市生态环境局拟审批通过山东东岳绿冷科技有限公司100吨/年六氟乙烷中试项目环境影响报告书并予以公示，项目相关情况如下：
项目投资：1500 万元建设地点：山东东岳绿冷科技有限公司北厂区；项目性质：扩建；建设内容：本中试项目年产出100吨六氟乙烷主产物、85吨31%盐酸副产物，全部用于工艺参数验证及下游客户送样测试，不对外作为商品销售。建设周期：预计2026年8月启动，中试周期2年。拓展阅读：
六氟乙烷作为半导体二氧化硅刻蚀、CVD腔体清洗的关键材料，是14nm及以下先进制程不可替代耗材，同时可应用于超低温制冷、高压电气绝缘等领域。
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